При пароструйной откачке (рис.12)
молекулы откачиваемого газа, поступающие в насос
через входной патрубок 1, взаимодействуют со
струёй пара, имеющего звуковую и сверхзвуковую
скорость, и приобретают дополнительную скорость
в направлении насоса предварительного
разряжения, присоединяемого к выходному
патрубки 6. В камере 3 происходит смешение паровой
струи, выходящей из сопла 2, и откачиваемого газа.
Запирающий канал 4 создаёт сопротивление
обратному потоку газа, обеспечивая коэффициент
компрессии насоса. Разделение откачиваемого
газа и рабочего пара осуществляется в камере 5 в
процессе конденсации рабочего пара на
охлажденных поверхностях, после чего
откачиваемый газ выходит из насоса через
выходной патрубок, а сконденсировавшийся пар
поступает по трубопроводу 7 в кипятильник 8, где
вновь испаряется и по паропроводу 9 попадает в
рабочее сопло 2, обеспечивая непрерывность
процесса откачки
Взаимодействие откачиваемого газа с
паровой струей зависит от степени вакуума. При
низком вакууме молекулы, находящиеся в
пограничном с паровой струей слое, за счет
внутреннего трения увлекают другие слои газа.
Такие насосы называют эжекторными.
В области высокого вакуума все
молекулы откачиваемого газа, перемещаясь за счет
самодиффузии, непосредственно взаимодействуют с
движущейся струей пара, а насосы, работающие в
таких условиях, называют диффузионными.
Быстрота действия насоса зависит от
производительности сопла и свойств рабочего
пара. В эжекторных насосах она лежит в диапазоне
от нескольких десятков до нескольких тысяч
литров в секунду.
Максимальное выпускное давление не
может быть больше давления рабочего пара в
кипятильнике насоса, поэтому в случае
паромасляного насоса оно не превышает (1-5).102
Па, для парортутного - (20-40).102
Па.. Увеличить максимальное выпускное
давление паромасляного насоса нельзя, так как
температура пара в кипятильнике ограничивается
температурой разложения масла.
В парортутных насосах принципиально
возможно повышение максимального выпускного
давления вплоть до атмосферного, но из-за больших
потерь и токсичности ртути этого обычно не
делают.
Предельным остаточным давлением
эжекторного насоса является давление перехода
из среднего в высокий вакуум, когда происходит
расширение паровой струи и нарушение
оптимального режима работы. Величина
предельного давления составляет 10-1-10-2
Па.
При истечении струи пара в высокий
вакуум происходит ее расширение за счет тепловых
скоростей молекул. В случае равенства скорости
истечения струи и скорости звука она выходит из
сопла под углом 45° к его оси. Давление пара в
струе значительно больше, чем давление
откачиваемого газа. Наилучшие условия для
захвата молекул откачиваемого газа
обеспечиваются тогда, когда давление пара в
струе соответствует среднему вакууму. При этом
все молекулы откачиваемого газа проникают в
паровую струю при первом соударении. При большей
плотности паровой струи вероятность захвата
молекул снижается.
Теоретическая быстрота действия
диффузионного насоса в связи с малым количеством
откачиваемого пара определяется не изменением
термодинамических характеристик паровой струи,
как в случае эжекторного насоса, а
геометрическими размерами сопла и парциальным
давлением откачиваемого газа в паровой струе.
Рис. 13. Диффузионный насос.
Простейший диффузионный насос
(рисунок справа) состоит из кипятильника 1,
диффузионного сопла 2, закрепленного на
паропроводе 6, холодильника 4, впускного и
выпускного патрубков 3 и 5. Пары рабочей жидкости
из кипятильника проходят по паропроводу через
зонтичное сопло и конденсируются на стенках
насоса, охлаждаемых холодильником. За время
движения пара от конца сопла до стенок насоса в
струю пара диффундирует откачиваемый газ. После
конденсации образовавшейся парогазовой смеси
выделившийся газ откачивается через выпускной
патрубок насосом предварительного разрежения, а
сконденсированный пар стекает по стенкам насоса
в кипятильник через зазор между паропроводом и
корпусом насоса.
К рабочим жидкостям пароструйных насосов
предъявляются следующие требования:
минимальная упругость паров при комнатной
температуре и максимальная при рабочей
температуре в кипятильнике;
стойкость к разложению при нагревании;
минимальная способность растворять газы;
химическая стойкость по отношению к
откачиваемым газам и по отношению к материалам
насоса;
малая теплота парообразования.
Минимальная упругость паров при
комнатной температуре требуется для получения
наименьшего предельного давления насоса.
Максимальное давление паров при рабочей
температуре кипятильника увеличивает выпускное
давление насоса и уменьшает требуемую мощность
подогревателя. Стойкость к разложению рабочей
жидкости при нагревании влияет на срок службы
рабочей жидкости и максимальное выпускное
давление. Растворимость газов в рабочей жидкости
приводит к увеличению обратного потока газов
через сопло вместе с паровой струей. Химическая
стойкость определяет срок службы рабочей
жидкости и накладывает ограничения на выбор
конструкционных материалов насосов. При малой
теплоте парообразования требуется меньшая
мощность подогревателя насоса.